State system for ensuring the uniformity of measurements. Nanometer range relief measures with trapezoidal profile of elements. Methods for verification

Description in Russian:
Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки

Document status:

Active

Format:

Electronic (PDF)

Page count:

Delivery time (for English version):

3 business days

Delivery time (for Russian version):

1 business day

SKU:

GOST33647