ASTM F1528-94 (1999) PDF
Name in English:
St ASTM F1528-94 (1999)
Name in Russian:
Ст ASTM F1528-94 (1999)
Description in English:
Standard Test Method for Measuring Boron Contamination in Heavily Doped N-Type Silicon Substrates by Secondary Ion Mass Spectrometry (Withdrawn 2003). Original standard ASTM F1528-94 (1999) in PDF full version. Additional info + preview on request
Description in Russian:
Стандартный метод измерения загрязнения бором сильно легированных кремниевых подложек N-типа методом вторично-ионной масс-спектрометрии (отменён в 2003 году). Оригинальный стандарт ASTM F1528-94 (1999) в PDF полная версия. Дополнительная инфо + превью по запросу
Document status:
Withdrawn
Format:
Electronic (PDF)
Page count:
4
Delivery time (for English version):
1 business day
Delivery time (for Russian version):
2 business days
SKU:
stastm15470
More technical details are being prepared for this document.